在包含某種元素的樣品中，照射一次X射線，就會(huì)產(chǎn)生元素1的熒光X射線，不過(guò)這個(gè)時(shí)候的熒光X射線的強(qiáng)度會(huì)隨著樣品中元素A的含量的變化而改變。元素1的含量多，X射線熒光光譜儀的強(qiáng)度就會(huì)變強(qiáng)。注意到這一點(diǎn)，如果預(yù)先知道已知濃度樣品的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度，就可以推算出樣品中元素A的含量。

利用 X熒光光譜儀X射線 進(jìn)行定量分析的時(shí)候，大致分為3個(gè)方法。一個(gè)是制作測(cè)量線的方法（經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法）。這個(gè)方法是測(cè)定幾點(diǎn)實(shí)際的已知濃度樣品，尋求想測(cè)定元素的 X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度和濃度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測(cè)定未知樣品取得X熒光光譜儀X射線 ，從而得到濃度值。

手持式X熒光光譜儀

另一個(gè)方法是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個(gè)方法在完全了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計(jì)算的各個(gè)X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的理論值，推測(cè)測(cè)定得到未知樣品各個(gè)元素的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的組成一致。

NBS-GSC法也稱作理論Alpha系數(shù)法。它是基于X熒光光譜儀X射線激發(fā)的基本原理，從理論上使用基本物理參數(shù)計(jì)算出樣品中每個(gè)元素的一次和二次特征X射線熒光強(qiáng)度的?；诖嗽儆?jì)算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增強(qiáng)效應(yīng)。

它與經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上取得的，而非建立在“經(jīng)驗(yàn)”上。因而它也不需要那么多的標(biāo)樣，只要少數(shù)標(biāo)樣來(lái)校準(zhǔn)儀器因子。